特許

J-GLOBAL ID：201103097510923356

レジスト組成物

発明者： 市川 幸司 ,  杉原 昌子 ,  増山 達郎
出願人/特許権者： 住友化学株式会社
代理人 (1件)： 新樹グローバル・アイピー特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-242478
公開番号（公開出願番号）：特開2011-121938
出願日： 2010年10月28日
公開日（公表日）： 2011年06月23日
要約：

【課題】優れた解像度及び形状を有するレジストパターンを得ることを目的とする。【解決手段】式(I)で表される塩。[式(I)中、Q1及びQ2は、それぞれ独立に、フッ素原子又はC1-6ペルフルオロアルキル基を表す。L1は、置換基を有していてもよい2価のC1-17飽和炭化水素基を表し、前記2価の飽和炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-で置き換わっていてもよい。R1は、フッ素原子を含むC1-6アルキル基を表す。Z+は、有機カチオンを表す。]【選択図】なし

請求項（抜粋）：

式(I)で表される塩。

IPC (8件)：

C07C 311/09 ,  G03F 7/004 ,  G03F 7/039 ,  C07C 381/12 ,  C07C 25/00 ,  C09K 3/00 ,  C08F 220/10 ,  H01L 21/027

FI (8件)：

C07C311/09 ,  G03F7/004 503A ,  G03F7/039 601 ,  C07C381/12 ,  C07C25/00 ,  C09K3/00 K ,  C08F220/10 ,  H01L21/30 502R

Fターム (53件)：

2H125AF17P ,  2H125AF18P ,  2H125AF19P ,  2H125AF21P ,  2H125AF26P ,  2H125AF33P ,  2H125AF38P ,  2H125AF70P ,  2H125AH17 ,  2H125AH19 ,  2H125AJ14X ,  2H125AJ65X ,  2H125AJ69X ,  2H125AN38P ,  2H125AN39P ,  2H125AN45P ,  2H125AN54P ,  2H125AN65P ,  2H125BA02P ,  2H125BA26P ,  2H125CA12 ,  2H125CB09 ,  2H125CC03 ,  2H125CC15 ,  2H125FA03 ,  4H006AA01 ,  4H006AB81 ,  4H006AC13 ,  4H006AD16 ,  4H006BA71 ,  4H006BE03 ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100AL08R ,  4J100AL08S ,  4J100AL08T ,  4J100BA03Q ,  4J100BA03T ,  4J100BA11P ,  4J100BA11Q ,  4J100BA11R ,  4J100BA15P ,  4J100BC04S ,  4J100BC09P ,  4J100BC09Q ,  4J100BC09R ,  4J100BC09T ,  4J100BC53P ,  4J100BC53Q ,  4J100BC53R ,  4J100CA03 ,  4J100CA05 ,  4J100JA38