特許
J-GLOBAL ID：201103097536458490
レーザ発振装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
服部 毅巖
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-020064
公開番号（公開出願番号）：特開平2-201979
特許番号：特許第2793616号
出願日： 1989年01月30日
公開日（公表日）： 1990年08月10日
請求項（抜粋）：
【請求項1】気体放電によってレーザ励起を行う放電管と、レーザ発振を行わせる光共振器と、送風機によってレーザガスを強制冷却させるガス循環装置とを密閉筐体内に有するレーザ発振装置において、前記密閉筐体内の空気を冷却及び循環させるラジエータユニットと、高周波励起により発生する電磁波の漏洩を防止する電磁シールドとを電気的に接続し、前記ラジエータユニットと前記電磁シールドの両者で前記電磁波の漏洩を防止するように構成されたことを特徴とするレーザ発振装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01S 3/03 Z
, H01S 3/04 G
