特許
J-GLOBAL ID:201103097551116589
ニオブ酸カリウムの低温製膜法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (4件):
牛木 護
, 吉田 正義
, 松浦 康次
, 清水 栄松
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-244764
公開番号(公開出願番号):特開2008-063198
特許番号:特許第4474553号
出願日: 2006年09月08日
公開日(公表日): 2008年03月21日
請求項(抜粋):
【請求項1】K2NbO3Fの単結晶を基板上で潮解させ、乾燥することを特徴とするニオブ酸カリウムの低温製膜法。
IPC (3件):
C30B 29/30 ( 200 6.01)
, H01L 41/18 ( 200 6.01)
, H01L 41/24 ( 200 6.01)
FI (3件):
C30B 29/30 A
, H01L 41/18 101 A
, H01L 41/22 A
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