特許
J-GLOBAL ID：201103097807940799

絶対変位測定装置

発明者：
西沖 暢久

西沖 暢久 について


出願人/特許権者：
株式会社ミツトヨ

株式会社ミツトヨ について


代理人 (1件)： 伊丹 勝
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-058253
公開番号（公開出願番号）：特開2000-258188
特許番号：特許第4138138号
出願日： 1999年03月05日
公開日（公表日）： 2000年09月22日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 検出対象の変位Lに対応して周期P1の正弦波状信号S1A及び余弦波状信号S1Bを出力する第1の変位検出器と、 この第1の変位検出器と併設されて、前記検出対象の変位Lに対応して周期P2(≠P1)の正弦波状信号S2A及び余弦波状信号S2Bを出力する第2の変位検出器と、 前記第1及び第2の変位検出器と併設されて、前記検出対象の変位Lに対応して周期P3(≠P2,P1であり、且つ|P3-P2|≠|P2-P1|)の正弦波状信号S3A及び余弦波状信号S3Bを出力する第3の変位検出器と、 前記第1及び第2の変位検出器から得られる正弦波状信号S1A,S2A及び余弦波状信号S1B,S2Bを合成して、周期P1とP2の最小公倍数値の周期Pxを持つ正弦波状信号SxA=S1A×S2B-S1B×S2A及び余弦波状信号SxB=S1B×S2B+S1A×S2Aを得る第1の波長合成手段と、 前記第2及び第3の変位検出器から得られる正弦波状信号S2A,S3A及び余弦波信号S2B,S3Bを合成して、周期P2とP3の最小公倍数値の周期Pyを持つ正弦波状信号SyA=S2A×S3B-S2B×S3A及び余弦波状信号SyB=S2B×S3B+S2A×S3Aを得る第2の波長合成手段と、 前記第1及び第2の波長合成手段から得られる正弦波状信号SxA,SyA及び余弦波信号SxB,SyBを合成して、周期PxとPyの最小公倍数値の周期PIを持つ正弦波状信号SIA=SxA×SyB-SxB×SyA及び余弦波状信号SIB=SxB×SyB+SxA×SyAを得る第3の波長合成手段と、 前記第1乃至第3の変位検出器のいずれかの出力信号、前記第1又は第2の波長合成手段の出力信号、及び前記第3の波長合成手段の出力信号をそれぞれ微分解能信号、中分解能信号及び粗分解能信号として、それぞれの位相を検出する位相検出手段と、 この位相検出手段により検出された前記微分解能信号、中分解能信号及び粗分解能信号の位相情報に基づいて前記変位Lを前記周期PI内の絶対位置として求める距離演算手段と、 を備えたことを特徴とする絶対変位測定装置。
IPC (3件)：
G01D 5/244 ( 200 6.01) ,  G01B 21/00 ( 200 6.01) ,  G01D 5/36 ( 200 6.01)
FI (4件)：
G01D 5/244 F ,  G01D 5/244 H ,  G01B 21/00 C ,  G01D 5/36 B
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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