粒子検出器

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：小山有 , 稲元富保
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-303470
公開番号（公開出願番号）：特開2002-107286
特許番号：特許第3615140号
出願日： 2000年10月03日
公開日（公表日）： 2002年04月10日
請求項（抜粋）：

【請求項1】レーザ共振器内で共振するレーザ光を用いて、清浄な気体のパージエアをレーザ媒質や反射鏡などに吹き付けながら試料気体中に含まれる粒子を検出する粒子検出器において、板部材に形成した前記レーザ光と前記パージエアが通過するピンホールの他に、前記パージエアがアウトレットに抜ける通路を前記板部材又はケースの壁部に設けたことを特徴とする粒子検出器。

IPC (2件)：