特許

J-GLOBAL ID：201103098344300929

流体を含む加工材料混合物を搬送するシステムおよび方法

発明者： ヒューズ ジョン イー.キュー. ,  ウェア ドナルド ディー. ,  ルーコット スティーブン エム. ,  ウルシュカ ピーター
出願人/特許権者： フォアサイト プロセッシング,エルエルシー
代理人 (1件)： 名古屋国際特許業務法人
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-537140
公開番号（公開出願番号）：特表2011-506110
出願日： 2008年12月08日
公開日（公表日）： 2011年03月03日
要約：

異なる(例えば、濃縮された)加工材料の共通供給源は、複数の加工ツールが付随する複数の混合マニホールド、加工ステーション、またはその他の使用位置に制御可能に供給され、各ツール、ステーション、または使用位置用の独立制御可能な加工材料混合物が生成される。複数構成要素の加工材料は、供給容器から混合マニホールドを介して還流容器へ循環され、混合および使用直前まで均一性が確保され得る。このような容器は、圧力分配するのに適したライナー式容器を含み得る。

請求項（抜粋）：

加工材料搬送システムであって、 少なくとも1つの流体を含む第1の加工材料を収容するように構成された複数の第1の容器と、 前記複数の第1の容器の間の少なくとも1つの第1の循環流路を介して、前記第1の加工材料の少なくとも一部を循環させるように構成された第1の循環装置と、 前記第1の循環装置と第2の加工材料の供給源と少なくとも間欠的に流体連結を行う少なくとも1つの混合マニホールドと、 少なくとも1つの流量制御要素であって、(i)前記少なくとも1つの混合マニホールドへの前記第1の加工材料と、(ii)前記少なくとも1つの混合マニホールドへの前記第2の加工材料とのうちのいずれかの搬送を調節するように構成された、少なくとも1つの流量制御要素と を備えるシステム。

IPC (3件)：

B24B 57/02 ,  H01L 21/304 ,  B24B 37/00

FI (3件)：

B24B57/02 ,  H01L21/304 622E ,  B24B37/00 K

Fターム (19件)：

3C047GG15 ,  3C047GG18 ,  3C047GG19 ,  3C058AA07 ,  3C058AC04 ,  3C058CA05 ,  3C058CB03 ,  3C058CB04 ,  3C058DA12 ,  3C058DA17 ,  5F057AA31 ,  5F057BA11 ,  5F057DA03 ,  5F057FA01 ,  5F057FA42 ,  5F057FA43 ,  5F057GA07 ,  5F057GB37 ,  5F057GB38