特許

J-GLOBAL ID：201103098490511761

ウェーハ研磨装置のキャリブレーション用治具及びキャリブレーション装置

発明者： 鏑木 光広 ,  稲葉 高男
出願人/特許権者： 株式会社東京精密
代理人 (1件)： 松浦 憲三
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-322523
公開番号（公開出願番号）：特開2002-134446
特許番号：特許第3438874号
出願日： 2000年10月23日
公開日（公表日）： 2002年05月10日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 ウェーハを保持して研磨パッドに押し付けるキャリアと、キャリアを研磨パッドに向けて押圧するキャリア用押圧手段と、キャリアの外周に配置されてウェーハの周囲を包囲するリテーナーリングと、リテーナーリングを研磨パッドに向けて押圧するリテーナーリング用押圧手段と、入力された設定値に基づいてキャリア用押圧手段及びリテーナーリング用押圧手段の研磨パッドに対する押圧力を制御する制御手段とを備えたウェーハ研磨装置において、前記キャリアの前記研磨パッドに対する押圧力と前記リテーナーリングの前記研磨パッドに対する押圧力とを検出するキャリブレーション用治具は、前記研磨パッド上にセットされる板部材と、前記板部材上に配設され、前記キャリアに押圧されてキャリアの押圧力を検出するキャリア用押圧力検出手段と、前記板部材上に配設され、前記リテーナーリングに押圧されてリテーナーリングの押圧力を検出するリテーナーリング用押圧力検出手段と、からなることを特徴とするウェーハ研磨装置のキャリブレーション用治具。

IPC (4件)：

H01L 21/304 622 ,  B24B 37/00 ,  B24B 49/10 ,  B24B 49/16

FI (4件)：

H01L 21/304 622 G ,  B24B 37/00 B ,  B24B 49/10 ,  B24B 49/16