特許
J-GLOBAL ID：201103098508092389
マトリクス検査方法及び装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
村井 隆
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-275828
公開番号（公開出願番号）：特開2002-090408
特許番号：特許第3567371号
出願日： 2000年09月12日
公開日（公表日）： 2002年03月27日
請求項（抜粋）：
【請求項1】マトリクス構造の素子群から成る被検査対象の行側チャンネルの1つに測定電圧を印加し、電圧印加チャンネル以外の他の行側チャンネルにおいては、電圧印加チャンネルと他の行側チャンネル間のリーク電流測定を実施し、同時に列側チャンネルにおいては、前記電圧印加チャンネルに接続している素子の第1の方向の通電電流を測定する動作を、前記測定電圧を印加する行側チャンネルを切り替えて実行するステップと、マトリクス構造の素子群から成る被検査対象の列側チャンネルの1つに測定電圧を印加し、電圧印加チャンネル以外の他の列側チャンネルにおいては、電圧印加チャンネルと他の列側チャンネル間のリーク電流測定を実施し、同時に行側チャンネルにおいては、前記電圧印加チャンネルに接続している素子の第2の方向の通電電流を測定する動作を、前記測定電圧を印加する列側チャンネルを切り替えて実行するステップとを備えることを特徴とするマトリクス検査方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
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