特許

J-GLOBAL ID：201103098661305383

導電性溶液を用いた水晶基板のクリーニング方法

発明者： ナディプラム・ブイ・ビジャヤ・ラグハバン ,  エレイン・ライ-イー・リュング
出願人/特許権者： アジレント・テクノロジーズ・インク
代理人 (1件)： 加藤 公久
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-348463
公開番号（公開出願番号）：特開2001-212968
特許番号：特許第3410720号
出願日： 2000年11月15日
公開日（公表日）： 2001年08月07日
請求項（抜粋）：

【請求項1】水晶基板のクリーニングのための処理方法であって、前記水晶基板に水と水酸化アンモニウムを含む溶液をつける工程と、過酸化水素と所定の酸を含む溶液で前記水晶基板を処理する工程と、炭酸飽和させた水で前記水晶基板をすすぐ工程と、すすぎを施された前記水晶基板に水と水酸化アンモニウムを含む溶液をつける工程と、炭酸飽和させた水で前記水晶基板を再度すすぐ工程とが含まれていることを特徴とする、水晶基板の処理方法。

IPC (3件)：

B08B 3/08 ,  B41J 2/135 ,  G03F 1/08

FI (3件)：

B08B 3/08 A ,  G03F 1/08 X ,  B41J 3/04 103 N