特許

J-GLOBAL ID：201103098710611550

軟磁性膜用Co-Fe系合金および軟磁性膜形成用Co-Fe系合金スパッタリングターゲット材

発明者： 上野 友典 ,  福岡 淳
出願人/特許権者： 日立金属株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-177560
公開番号（公開出願番号）：特開2011-068985
出願日： 2010年08月06日
公開日（公表日）： 2011年04月07日
要約：

【課題】軟磁気特性を高く維持した上で、耐候性に優れた非晶質膜である垂直磁気記録媒体等に用いられる軟磁性膜用Co-Fe系合金および軟磁性膜形成用Co-Fe系合金スパッタリングターゲット材を提供する。【解決手段】原子比でCo:Fe=90:10〜35:65の組成比のCo-Fe系合金において、添加元素としてYを4原子%以上および(Ta、Nb)から選ばれる1種または2種の元素を3原子%以上含有し、かつ該添加元素の含有量の総和が15原子%以下の軟磁性膜用Co-Fe系合金、該合金による軟磁性膜形成用Co-Fe系合金スパッタリングターゲット材。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

原子比でCo:Fe=90:10〜35:65の組成比のCo-Fe系合金において、添加元素としてYを4原子%以上および(Ta、Nb)から選ばれる1種または2種の元素を3原子%以上含有し、かつ該添加元素の含有量の総和が15原子%以下であることを特徴とする軟磁性膜用Co-Fe系合金。

IPC (5件)：

C22C 45/04 ,  C23C 14/34 ,  C22C 45/02 ,  G11B 5/851 ,  G11B 5/667

FI (5件)：

C22C45/04 D ,  C23C14/34 A ,  C22C45/02 A ,  G11B5/851 ,  G11B5/667

Fターム (17件)：

4K029AA09 ,  4K029AA24 ,  4K029BA24 ,  4K029BC06 ,  4K029BD11 ,  4K029CA05 ,  4K029DC04 ,  4K029DC08 ,  4K029DC09 ,  4K029DC34 ,  5D006CA03 ,  5D006DA08 ,  5D006EA03 ,  5D112AA04 ,  5D112BD03 ,  5D112FA04 ,  5D112FB04