特許

J-GLOBAL ID：201103098749530590

色素含有感光性耐食膜および方法ならびにこれを含む工業製品

発明者： ロジャー エフ. シンタ ,  トーマス エム.ジドウスキー
出願人/特許権者： ローム・アンド・ハース・エレクトロニック・マテリアルズ,エル.エル.シー.
代理人 (1件)： 特許業務法人センダ国際特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-009838
公開番号（公開出願番号）：特開平11-265061
特許番号：特許第4551510号
出願日： 1999年01月18日
公開日（公表日）： 1999年09月28日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 光酸不安定基を有する樹脂と、光活性成分と、アントラセン基を含み、かつ分子量が230〜2,000ダルトンである非ポリマー性色素化合物とを含む、感光性耐食膜組成物であって、該色素化合物が1つのフェノール化合物と1つのアントラセン化合物の反応産物である、感光性耐食膜組成物。

IPC (3件)：

G03F 7/004 ( 200 6.01) ,  G03F 7/039 ( 200 6.01) ,  H01L 21/027 ( 200 6.01)

FI (3件)：

G03F 7/004 505 ,  G03F 7/039 601 ,  H01L 21/30 502 R

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 乾式現像可能なフォトレジスト組成物およびその使用方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-305898   出願人：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
• 遠紫外線用レジスト組成物及びこれを用いた微細パターン形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-083199   出願人：和光純薬工業株式会社, 松下電器産業株式会社
• 化学増幅型感放射線性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-046672   出願人：日本合成ゴム株式会社