エネルギービーム露光装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大胡典夫 (外2名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-159176
公開番号（公開出願番号）：特開2001-284244
特許番号：特許第3471293号
出願日： 2000年03月31日
公開日（公表日）： 2001年10月12日
請求項（抜粋）：

【請求項1】所望パターンが露光されるべき一試料を載置し、かつパターン露光の基準となる基準軸を備えるステージと、前記試料に所望パターンを露光するためのエネルギービームを発生するエネルギービーム源と、上記エネルギービーム源からのエネルギービームを透過させて所望断面形状の成形ビームを形成するための開口部を有するアパーチャーと、前記アパーチャーを透過した成形ビームの像を前記試料の表面上で移動させるための偏向器と、を具備してなるエネルギービーム露光装置において、前記アパーチャーは、前記所望パターン形状の少なくとも一部をもつキャラクタビームアパーチャーであり、このアパーチャーを透過して前記試料上に形成される前記成形ビームの像が前記所望パターンよりも一方向について小さく作られており、複数個の前記成形ビームの像を一部重複した位置に形成して前記所望パターンを露光することが可能であることを特徴とするエネルギービーム露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 , G03F 7/20 504

FI (3件)：

G03F 7/20 504 , H01L 21/30 541 B , H01L 21/30 541 Q

引用特許：

出願人引用 (6件)

特開昭57-076834
荷電粒子線露光方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-058750 出願人：日本電気株式会社
特開昭62-287619

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審査官引用 (5件)

特開昭57-076834
荷電粒子線露光方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-058750 出願人：日本電気株式会社
特開昭62-287619

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