特許
J-GLOBAL ID：201103099444694025
半導体装置及びそのコンタクト抵抗検査方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西村 征生
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-034666
公開番号（公開出願番号）：特開2000-232144
特許番号：特許第3248506号
出願日： 1999年02月12日
公開日（公表日）： 2000年08月22日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 半導体層の不純物領域と導電層とを接触させてなる複数のコンタクトを配列したコンタクトアレイを有する半導体装置において、前記コンタクトアレイの中に他の前記コンタクトよりも抵抗が高いコンタクトからなる抵抗モニタが1個以上予め位置決めして設けられていることを特徴とする半導体装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/66 Y
, H01L 21/90 D
