特許

J-GLOBAL ID：201103099641021245

切削溝検出装置および切削加工機

発明者： 吉田 圭吾 ,  内田 文雄
出願人/特許権者： 株式会社ディスコ
代理人 (2件)： 小野 尚純 ,  奥貫 佐知子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-167161
公開番号（公開出願番号）：特開2011-023540
出願日： 2009年07月15日
公開日（公表日）： 2011年02月03日
要約：

【課題】ウエーハに形成された切削溝を裏面側からダイシングテープを介して検出することができる切削溝検出装置および切削溝検出装置を装備した切削加工機を提供する。【解決手段】環状のフレームに装着されたダイシングテープの表面に貼着されたウエーハに切削ブレードによって形成された切削溝を、ダイシングテープを介して検出する切削溝検出装置であって、撮像カメラと、撮像カメラの光軸上に配設された対物レンズを保持する対物レンズ保持筒と、対物レンズ保持筒の上端部に装着され被写体との間に水の層を形成する水層形成手段とを備えた撮像手段と、撮像手段の撮像カメラによって撮像された画像を表示する表示手段とを具備している。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

環状のフレームに装着されたダイシングテープの表面に貼着されたウエーハに切削ブレードによって形成された切削溝を、該ダイシングテープを介して検出する切削溝検出装置において、 撮像カメラと、該撮像カメラの光軸上に配設された対物レンズを保持する対物レンズ保持筒と、該対物レンズ保持筒の上端部に装着され被写体との間に水の層を形成する水層形成手段とを備えた撮像手段と、 該撮像手段の該撮像カメラによって撮像された画像を表示する表示手段と、を具備している、 ことを特徴とする切削溝検出装置。

IPC (2件)：

H01L 21/301 ,  B24B 49/12

FI (3件)：

H01L21/78 F ,  B24B49/12 ,  H01L21/78 C

Fターム (8件)：

3C034AA19 ,  3C034BB93 ,  3C034CA03 ,  3C034CA05 ,  3C034CA22 ,  3C034CB14 ,  3C034DD10 ,  3C034DD18