特許
J-GLOBAL ID：201103099824333700

ラジアルアンテナ及びそれを用いたプラズマ装置

発明者：
石井 信雄

石井 信雄 について

, 
篠原 己拔

篠原 己拔 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について

, 
日本高周波株式会社

日本高周波株式会社 について


代理人 (1件)： 山川 政樹
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-236716
公開番号（公開出願番号）：特開2002-050615
特許番号：特許第4598247号
出願日： 2000年08月04日
公開日（公表日）： 2002年02月15日
請求項（抜粋）：
【請求項1】複数のスロットが形成された第1の導電板と、マイクロ波導入口を有し前記第1の導電板に対向配置された第2の導電板と、前記第1及び第2の導電板の周縁を接続するリング部材とを備えたラジアルアンテナにおいて、 前記第1及び第2の導電板により形成されるラジアル導波路内の前記第2の導電板上に設けられ、前記第1の導電板までの距離を調整する導電性の調整部材を備えたことを特徴とするラジアルアンテナ。
IPC (4件)：
H01L 21/3065 ( 200 6.01) ,  B01J 19/08 ( 200 6.01) ,  H01L 21/205 ( 200 6.01) ,  H05H 1/46 ( 200 6.01)
FI (4件)：
H01L 21/302 101 D ,  B01J 19/08 F ,  H01L 21/205 ,  H05H 1/46 B
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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