特許
J-GLOBAL ID：201103099877194647
レジスト用現像液
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
細田 芳徳
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-030473
公開番号（公開出願番号）：特開2001-222115
特許番号：特許第4294822号
出願日： 2000年02月08日
公開日（公表日）： 2001年08月17日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 塩基性化合物と、3価以上の多価アルコールのプロピレンオキサイド付加物並びに1級及び/又は2級アミンを有するポリアミンのプロピレンオキサイド付加物からなる群より選ばれた1種以上のプロピレンオキサイド付加物とを含有してなるレジスト用現像液であって、前記3価以上の多価アルコールが炭素数3〜10の飽和又は不飽和炭化水素基を有し、前記1級及び/又は2級アミンを有するポリアミンが炭素数2〜10及び窒素数2〜4のポリアミンである、レジスト用現像液。
IPC (2件)：
G03F 7/32 ( 200 6.01)
, H01L 21/027 ( 200 6.01)
G03F 7/32
, H01L 21/30 569 E
