研課題
J-GLOBAL ID:201104024757891240  研究課題コード:6000004395 更新日:2011年03月14日

MEMS技術を使った小型電子機器向け振動発電デバイスの開発

実施期間:2010 - 2010
実施機関 (1件):
実施研究者(所属機関) (5件):
研究分野 (3件): 機能材料・デバイス ,  薄膜・表面界面物性 ,  電子デバイス・電子機器
研究概要:
化学電池に替わる低環境負荷の小型電力源として、身の回りに存在する様々な振動からエネルギーを取り出し電気エネルギーに変換する振動発電デバイスの開発に取り組む。高い圧電性を示す強誘電体薄膜を、小さな振動で大きな歪を誘起できるように片持ち梁あるいは両持ち梁に搭載することにより、発電能力、発電効率の高いデバイスの実現を目指す。片持ち梁や両持ち梁は、MEMSプロセスによりシリコン基板から形成する。MEMSプロセスと強誘電体薄膜の製膜プロセスの整合性や、梁の形状が本研究の重要なポイントとなる。
キーワード (3件):
振動発電 ,  強誘電体薄膜 ,  MEMS
プロジェクト代表研究者 (1件):
  • 村上 修一
研究制度: -

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