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J-GLOBAL ID：201106099030130350

プラズマ損傷

プラズマ
同義語 (1件)：

プラズマダメージ (plasma damage)
プラズマダメージについて
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関連語 (3件)：

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LSI【IC】について
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MOSFET
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プラズマ曝露 (plasma exposure)
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上位語 (1件)：

照射損傷 (radiation damage)
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