資源
J-GLOBAL ID:201110001510266681 研究資源コード:5000000972
更新日:2004年11月05日
パルスプラズマ・イオンプレーティング複合装置
保有機関:
関西大学
担当者:
大西 正視
資源分類:
その他
利用手続きと方法:
詳細は、別途担当者まで問い合わせること
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