資源
J-GLOBAL ID:201110001510266681   研究資源コード:5000000972 更新日:2004年11月05日

パルスプラズマ・イオンプレーティング複合装置

保有機関:
担当者: 大西 正視
資源分類: その他
利用手続きと方法:
詳細は、別途担当者まで問い合わせること

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