資源
J-GLOBAL ID:201110003796497777   研究資源コード:1000002015 更新日:2005年11月25日

高機能分子線エピタキシーシステム

High Performance Molecular Beam Epitaxy system
保有機関:
担当者: 寺内 暉
資源分類: 実験機器、施設等
研究分野 (1件): 物性I
概要:
通常のMBE成長に加えて、原子層エッチングが可能な装置である
利用環境と条件:
研究・教育の遂行に支障のないこと
利用手続きと方法:
利用希望・問い合わせ等は担当者または、理学部事務室まで問い
合わせること

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