資源
J-GLOBAL ID:201110012998464004   研究資源コード:5000000886 更新日:2007年03月30日

IC試作・測定装置

保有機関:
担当者: 安藤 秀幸
資源分類: その他
研究分野 (4件): 知能機械学・機械システム ,  電子デバイス・電子機器 ,  システム工学 ,  制御工学
概要:
IC試作・測定装置
主要目的:IC(集積回路)の試作及び特性の測定のための装置
機器の内容:電気炉、スパッタ装置、スピンコータ、
マスクアライナ、ドラフトチャンバー、電子顕微鏡、
スクライバー、ワイヤーボンダー、パラメータアナライザー、
インピーダンスゲインフェーズアナライザ、他
利用環境と条件:
研究業務の遂行に支障のないこと
利用手続きと方法:
・利用手続き 詳細は、問い合わせること
・利用料金 有料

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