資源
J-GLOBAL ID:201110015249309174   研究資源コード:1000001107 更新日:2005年12月05日

超簿膜結晶製造装置

保有機関:
担当者: 岡本 尚機
資源分類: 実験機器、施設等
研究分野 (4件): 物性I ,  応用物性・結晶工学 ,  応用光学・量子光工学 ,  電子デバイス・電子機器
概要:
超簿膜結晶製造装置
超簿膜結晶製造装置は、無機化合物の超簿膜(最小制御膜2nm)、の膜厚
組成、積層層内の不純物を高精度に制御して作成するための超高真空簿膜
作成室を備えた分子線エピタキシャル成長装置
利用環境と条件:
他の利用者との使用調整が必要である
利用手続きと方法:
利用手続き 詳細は、担当者まで問い合わせること
利用料金 光熱費等の実費を負担
利用者の資格 本学との共同研究者
利用上の制約 設備使用上の知識を有すること

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