資源
J-GLOBAL ID:201110015707098323   研究資源コード:1000000429 更新日:2009年10月26日

クリーンルーム

Clean Room
保有機関:
担当者: 和泉 充
資源分類: 実習・演習施設
研究分野 (1件): 応用物性・結晶工学
概要:
レベル104クリーンルーム、エアシャワー LB膜製膜システム
利用環境と条件:
研究教育業務の遂行に支障のないこと

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