資源
J-GLOBAL ID：201110017559078612
研究資源コード：1000002146
更新日：2003年12月15日
AES/ESCA/UPS表面分析装置
AES/ESCA/UPS Practical Surface Analysis
保有機関：
担当者：
大山 昌憲
資源分類：
物質・材料
研究分野 (4件)：
物性I
, 機能物質化学
, 薄膜・表面界面物性
, 電子・電気材料工学
概要：
表面分析装置(AES/ESCA/UPS)
主要目的:無機、有機、電子材料等の表面、界面元素分析
(1)H、He元素以外のすべての元素(2)深土方向の分析
利用環境と条件：
研究教育の遂行上に支障のないこと
利用手続きと方法：
事務担当に問い合わせる必要がある
Tel(0426)68-5107・5935
fax(0426)68-5090
E-mail scenter@tokyo-ct.ac.jp
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