資源
J-GLOBAL ID:201110019217770037   研究資源コード:5000002657 更新日:2005年02月02日

分光エリプソメーター

Spectro-ellipsometer
保有機関:
担当者: 垣内 隆
資源分類: 実験機器、施設等
研究分野 (1件): 薄膜・表面界面物性
概要:
分光エリプソメーターによる基板表面有機薄膜の厚さ測定装置
研究領域: 薄膜・表面界面物性

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