資源
J-GLOBAL ID：201110020170463996 研究資源コード：1000001710
更新日：2002年11月30日
微小領域表面観察装置
Scanning probe microscope
保有機関：
明星大学
担当者：
合田 一夫
資源分類：
実験機器、施設等
研究分野 (1件)：
応用光学・量子光工学
概要：
主要目的:光機能半導体薄膜の表面形態観察
利用環境と条件：
研究業務の遂行に支障のない事
利用手続きと方法：
詳細は,担当者まで問い合わせること
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