資源
J-GLOBAL ID:201110023943485276   研究資源コード:1000001094 更新日:2004年09月21日

走査型プローブ顕微鏡システム

保有機関:
担当者: 田中 一郎
資源分類: 実験機器、施設等
研究分野 (1件): 薄膜・表面界面物性
概要:
走査型プローブ顕微鏡システム
SPI3800(セイコーインスツルメンツ株式会社製)
主要目的:表面微細構造の形状測定
利用環境と条件:
研究業務の遂行に支障のないこと
利用手続きと方法:
・利用手続き 詳細は担当者まで問い合わせること
・利用料金 無料 ただし消耗品は利用者が準備すること
・利用者の資格 本学システム工学部との共同研究者で、操作
方法の講習を受けた者

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