資源
J-GLOBAL ID:201110025055718095   研究資源コード:1000001650 更新日:2001年07月19日

イオンビームによる個体材料高機能化研究装置

保有機関:
担当者: 栗山 一男
資源分類: 実験機器、施設等
研究分野 (4件): 素粒子・原子核・宇宙線・宇宙物理 ,  物性I ,  応用物性・結晶工学 ,  電子・電気材料工学
概要:
重イオンを0.4〜6MeVでイオン注入できるいわゆる高エネルギーイオン注入装置である。
利用環境と条件:
タンデム型高エネルギーイオン加速器 加速電圧0.2〜1.5MV,イオンB〜Au,ターゲット6インチまで可 600°Cまでのターゲット加熱可

前のページに戻る