資源
J-GLOBAL ID:201110025550269051   研究資源コード:1000001708 更新日:2002年11月30日

フィールドエミッション型走査型電子顕微鏡

Field emission scanning electron microscope.
保有機関:
資源分類: 実験機器、施設等
研究分野 (1件): 薄膜・表面界面物性
概要:
フィールドエミッション型走査型電子顕微鏡
装置特徴:フィールドエミッション電子銃を装備しており高分解能で
高画質な観察が行え,形体観察に広く用いられる.
利用環境と条件:
研究業務の遂行に支障のない事
利用手続きと方法:
詳細は,担当者まで問い合わせること

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