資源
J-GLOBAL ID:201110028922267912   研究資源コード:5000001693 更新日:2008年04月22日

荷電粒子軌道制御装置EFIB-2000S

Electron and Focused Ion Beam Irradiation System
保有機関:
担当者: 木本 恒暢
資源分類: 実験機器、施設等
研究分野 (1件): 薄膜・表面界面物性
概要:
液体金属イオン源から発生させた荷電粒子である金属イオンを収束
ビームにして固体表面に照射する実験装置
利用環境と条件:
クリーンルームクラスに設置されている。マイクロホトニクス実験設備と組み合わせて使うことで性能が発揮される。
利用手続きと方法:
装置担当者およびマイクロホトニクス実験室研究者と打ち合わせを
行う。電子物性工学専攻で遂行している研究活動および教育活動に
支障のないことが確認され、共同研究体制を確立すれば利用できます。

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