資源
J-GLOBAL ID:201110033171878809   研究資源コード:1000001887 更新日:2005年12月13日

LIGA I(X線露光)(放射光)

Exposure equipment for LIGA process
保有機関:
担当者: 杉山 進
資源分類: 実験機器、施設等
研究分野 (2件): 構造・機能材料 ,  材料加工・処理
概要:
この装置は、LIGAプロセスに用いる厚いレジストの露光光源として
SRを用いるものです。SRの強度、指向性を利用して高アスペクト比の
マイクロマシン用三次元微細加工、ナノ構造デバイスの製作を行って
います。
利用環境と条件:
学内の教育・研究に支障のないこと。
利用手続きと方法:
利用手続き:別紙あり
利用料金:有料
利用者の資格:企業利用可

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