資源
J-GLOBAL ID:201110043000141625   研究資源コード:5000001118 更新日:2002年11月19日

電子ビーム蒸着装置

Electron beam evaporator
保有機関:
担当者: 鷹野致和
資源分類: 研究材料・サンプル・試作品等
研究分野 (1件): 電子・電気材料工学
利用環境と条件:
半導体素子の電極作成を行う.

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