資源
J-GLOBAL ID:201110051765300333   研究資源コード:1000001867 更新日:2005年12月19日

マイクロ光造形実験装置

Micro-photoforming
保有機関:
担当者: 浮田 宏生
資源分類: 実験機器、施設等
研究分野 (1件): 電子デバイス・電子機器
概要:
【機能・性能】
・スピナー方式による単位積層膜の簿形化
・光源:DVD用光ヘッド(波長650nm)
【用途・効果】
・3次元微小構造物の作製
利用環境と条件:
研究業務の遂行に支障のないこと
利用手続きと方法:
ここに紹介の大型研究装置は本学理工学研究所研究員の共同利用装置
として設置していますが、本学以外の研究機関・研究者等の利用も
出来ることになっています。
利用のご希望があればお問い合せ下さい。
お問い合わせは
立命館大学 総合理工学研究機構事務局
〒525-8577 草津市野路東1-1-1
Tel.077-561-2631
Fax.077-561-2633

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