資源
J-GLOBAL ID:201110054790290864   研究資源コード:1000001821 更新日:2005年12月01日

ナノ構造ハイブリッドデバイス製作装置

Fabrication apparatus for nano-structure hybrid devices
保有機関:
担当者: 大鉢 忠(プロジェクトリーダー)
資源分類: 実験機器、施設等
研究分野 (4件): 応用物性・結晶工学 ,  応用光学・量子光工学 ,  電子・電気材料工学 ,  電子デバイス・電子機器
概要:
分子線エピタキシィー装置
集束イオンビーム加工観察装置
研究領域: 結晶成長,電気電子材料
利用環境と条件:
クリーンルーム内使用
利用手続きと方法:
事前に担当者と打ち合わせる。

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