資源
J-GLOBAL ID:201110056984836461   研究資源コード:1000001981 更新日:2004年11月05日

ICPエッチング装置システムRIE-200iP

保有機関:
担当者: 高野 政晴
資源分類: 実験機器、施設等
研究分野 (1件): 計測工学
概要:
プラズマ放電形式に誘導結合方式(ICP)を採用しシリコンディープ・
ドライエッチングを行う。
利用手続きと方法:
詳細は、別途担当者まで問い合わせること

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