資源
J-GLOBAL ID:201110058795700926   研究資源コード:5000001852 更新日:2005年02月09日

イオンミリング装置

ion milling equipment
保有機関:
担当者: 神保 睦子
資源分類: 実験機器、施設等
研究分野 (1件): 電子・電気材料工学
概要:
イオンミリング装置 主要目的:薄膜を微細加工する装置
利用環境と条件:
学内の研究に支障のないこと

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