資源
J-GLOBAL ID:201110062985349076   研究資源コード:5000003536 更新日:2004年11月05日

イオン注入装置

保有機関:
担当者: 大村 泰久
資源分類: その他
概要:
素子の動作に直接影響する不純物の制御を行う装置
利用手続きと方法:
詳細は、別途担当者まで問い合わせること

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