資源
J-GLOBAL ID:201110064104034372   研究資源コード:1000001711 更新日:2002年11月30日

クラスターイオンビーム蒸着装置

Ionized cluster beam deposition apparatus
保有機関:
担当者: 合田 一夫
資源分類: 実験機器、施設等
研究分野 (1件): 応用光学・量子光工学
概要:
主要目的:光機能半導体薄膜の創製
利用環境と条件:
研究業務の遂行に支障のない事
利用手続きと方法:
詳細は,担当者まで問い合わせること

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