資源
J-GLOBAL ID:201110067212498180   研究資源コード:5000001650 更新日:2005年02月03日

ナノ構造試料作製装置

保有機関:
担当者: 松重 和美
資源分類: 実験機器、施設等
研究分野 (1件): マイクロ・ナノデバイス
概要:
ナノ構造試料作製装置
主要目的:光・電子ビーム等を利用して極微細加工を施し、
デバイスを試作するために利用する。ウエハ両面への
ソリグラフィー機能、極微加工を施した基板の接合に
より3次元的に極微加工パターンを形成し、新規な機能を
有する材料、デバイスを試作するために使用する。
研究領域: マイクロ・ナノデバイス
利用環境と条件:
VBLの研究プロジェクト業務の遂行に支障のないこと。
利用手続きと方法:
・利用手続き...詳細は、施設長まで問い合わせること。
・利用料金...別途とりきめ。
・利用者の資格...本学との共同研究者
・利用上の制約...VBL利用手引きに従う。

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