資源
J-GLOBAL ID:201110071150426931   研究資源コード:1000001895 更新日:2005年12月13日

LIGAII(X線露光)(放射光)

Exposure equipment for LIGA process
保有機関:
担当者: 杉山 進
資源分類: 実験機器、施設等
研究分野 (1件): 構造・機能材料
概要:
この装置は、LIGAプロセスに用いる厚いレジストの露光光源として
SRを用いるものです。SRの強度、指向性を利用して高アスペクト比
のマイクロマシン用三次元微細加工、ナノ構造デバイスの製作を
行っています。
利用環境と条件:
研究業務の遂行に支障のないこと
利用手続きと方法:
ここに紹介の大型研究装置は本学理工学研究所研究員の共同利用装置
として設置していますが、本学以外の研究機関・研究者等の利用も
出来ることになっています。
利用のご希望があればお問い合せ下さい。
お問い合わせは
立命館大学 総合理工学研究機構事務局
〒525-8577 草津市野路東1-1-1
Tel.077-561-2631
Fax.077-561-2633

前のページに戻る