資源
J-GLOBAL ID:201110071374911584   研究資源コード:5000000769 更新日:2004年11月22日

微細高密度構造形成装置一式

Ultra Small, High Density Structure Formation System
担当者: 横山 新 芝原 健太郎
資源分類: 実験機器、施設等
研究分野 (1件): 電子デバイス・電子機器
概要:
0.35μmの微細パターンをレジストに光学的に転写する装置。
研究領域: Denshi Device/Denshi Kiki
利用環境と条件:
パターンの元となるガラスマスクが必要
利用手続きと方法:
ナノテク支援に申し込んでご利用下さい。
http://home.hiroshima-u.ac.jp/nanotech/

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