資源
J-GLOBAL ID:201110072377502916   研究資源コード:6000000061 更新日:2007年04月26日

マイクロフォーカスX線CT装置

保有機関:
資源分類: 実験機器、施設等
研究分野 (5件): 応用物性・結晶工学 ,  薄膜・表面界面物性 ,  機械材料・材料力学 ,  電子・電気材料工学 ,  電子デバイス・電子機器
概要:
X線を精密部品や電子基板などに照して得られる透過画像および断面画像によって、内在する欠陥の検出、評価(非破壊)

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