資源
J-GLOBAL ID:201110075889791170   研究資源コード:1000001896 更新日:2005年12月13日

SMILEI(放射光)

SR micro lithography and etching for micro/nano fabrication
保有機関:
担当者: 杉山 進
資源分類: 実験機器、施設等
研究分野 (1件): 知能機械学・機械システム
概要:
この装置はX線露光と移動マスク法および多自由基板ステージを
用いて、3次元マイクロ構造体を製作するものです。マイクロ光学
デバイス、マイクロ化学分析チップ、DNA電気泳動チップなどの
製作に応用可能です。
利用環境と条件:
研究業務の遂行に支障のないこと
利用手続きと方法:
ここに紹介の大型研究装置は本学理工学研究所研究員の共同利用装置
として設置していますが、本学以外の研究機関・研究者等の利用も
出来ることになっています。
利用のご希望があればお問い合せ下さい。
お問い合わせは 立命館大学 総合理工学研究機構事務局
〒525-8577 草津市野路東1-1-1
Tel.077-561-2631
Fax.077-561-2633

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