資源
J-GLOBAL ID:201110076135744244   研究資源コード:1000001719 更新日:2003年02月15日

光・電子・弾性波複合機能素子作製装置

Fabrication system of light/electron/elastic-wave complex functional-devices
保有機関:
担当者: 神谷 勝義
資源分類: 実験機器、施設等
研究分野 (3件): 物性I ,  電子・電気材料工学 ,  電子デバイス・電子機器
概要:
光・電子・弾性波複合機能素子作製装置
主要目的:誘電体流膜や超電導流膜の形成加工技術とそれら流
膜の物性研究、光・半導体・超電導体などの諸現象を利用した
新デバイスや回転の探索
概要は下記URLの「総合実験研究センター」内「ナノテクノロ
ジー研究室」に掲載している
http://www.kanagawa-it.ac.jp/
利用環境と条件:
研究業務の遂行に支障のないこと
利用手続きと方法:
詳細は担当者まで問合せること

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