資源
J-GLOBAL ID:201110078497319102   研究資源コード:1000000410 更新日:2010年01月18日

電子線極微小領域内画像計測システム

担当者: 平井 秀一郎
資源分類: 実験機器、施設等
研究分野 (3件): 流体工学 ,  熱工学 ,  エネルギー学
概要:
電子線極微小領域内画像計測システム
主要目的:電子線による微小領域内の形状計測とx線分析による原子濃度の分布
計測のためのシステム
(1)形状計測装置 電界放射型走査電子顕微鏡(倍率:10〜50万倍、分解能:
二次電子像 1.5nm)
(2)原子濃度解析装置 エネルギー分散型X線分析装置(検出可能元素:Be〜U、
マッピング:最大20元素まで可能)
利用環境と条件:
研究業務の遂行に支障のないこと
利用手続きと方法:
詳細は「MRI・SEM画像計測システム運営委員会」の担当者まで問い合わせること
料金 上記の運営委員会の決める利用料金に従う
利用者の資格 本学の教官との共同研究者であること
利用上の制約 運営委員会の定める規定に従うこと

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