資源
J-GLOBAL ID:201110079858871405   研究資源コード:5000003010 更新日:2004年08月12日

超高真空走査型トンネル顕微鏡

Ultrahigh vacuum scanning tunneling microscope
担当者: 河村 力
資源分類: 実験機器、施設等
概要:
超高真空走査型トンネル顕微鏡
シリコンウエハーなどの表面構造を細かく観察、解析しコンピュータ
による画面処理が可能な装置である。

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