資源
J-GLOBAL ID：201110082710859598 研究資源コード：6000000114
更新日：2008年02月15日
試料断面作製装置
保有機関：
富山県工業技術センター
資源分類：
実験機器、施設等
研究分野 (1件)：
材料加工・処理
概要：
イオンビームによる試料の研削・研磨加工
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