資源
J-GLOBAL ID:201110094124384821   研究資源コード:5000003696 更新日:2005年07月20日

半導体製造・評価装置

Equipments for semicondactor manufacturing and evaluation
保有機関:
担当者: 施設長 潮田 資勝
資源分類: 実験機器、施設等
研究分野 (4件): 電子・電気材料工学 ,  電子デバイス・電子機器 ,  通信・ネットワーク工学 ,  システム工学
概要:
CVD、e-heam,イオン注入、RIE、炉、MBE、ステッパ、LSIテスタ、
AFM、STM、SEM、ESCA、TEM
利用環境と条件:
研究業務の遂行に支障のないこと
利用手続きと方法:
施設受付・案内 Tel:022-217-5563

前のページに戻る