資源
J-GLOBAL ID:201110096210520900   研究資源コード:5000001643 更新日:2005年02月02日

原子レベル構造観察装置

保有機関:
担当者: 松重 和美
資源分類: 実験機器、施設等
研究分野 (1件): 薄膜・表面界面物性
概要:
原子レベル構造観察装置
主要目的:超薄膜や極表面での形態観察や成分分析を原子レベルで
行うために使用する。極細電子ビームを用いて、試科
最表面や超薄膜界面の構造観察・物性解析を原子レベルで
行う。
研究領域: 薄膜・表面界面物性
利用環境と条件:
VBLの研究プロジェクト業務の遂行に支障のないこと。
利用手続きと方法:
・利用手続き...詳細は、施設長まで問い合わせること。
・利用料金...別途とりきめ。
・利用者の資格...本学との共同研究者
・利用上の制約...VBL利用手引きに従う。

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