資源
J-GLOBAL ID:201110099899577393   研究資源コード:1000000242 更新日:2005年01月27日

高分解能ナノ分析電子顕微鏡装置

保有機関:
担当者: 菅原 茂夫
資源分類: 実験機器、施設等
研究分野 (1件): 複合材料・物性
概要:
高分解能ナノ分析電子顕微鏡装置
主要目的・金属、半導体、有機材料及びセラミックス中の
微小欠陥の観察・極微小領域の元素分析並びに電子ビーム径の
数nmの大きさまでの絞り込みと微小領域の定性並びに定量分析
(1)高分解能ナノ分析電子顕微鏡、(2)エネルギー分散型X線
分析装置、(3)冷却水装置、(4)デュアルイオンミリング装置
研究領域: 複合材料・物性
利用環境と条件:
研究業務の遂行に支障のないこと
利用手続きと方法:
・利用手続き 詳細は担当者まで問い合わせること
・利用料金 200円/時間
・利用者の資格 本学との共同研究者
・利用上の制約 特になし

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